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箱式電子束蒸發鍍膜機 型號:ZH5496
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訪問次數:1023更新時間:2024-11-23 07:54:30

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產品簡介
適用于制備導電薄膜,半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,薄膜研究及新材料工作。
產品介紹

箱式電子束蒸發鍍膜機 型號:ZH5496
 
貨號:ZH5496

  適用于制備導電薄膜,半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,高性燒結車掃描測溫云臺能薄膜研究及新材料工作。其主要特點為功能強、鍍膜穩定、重復性好、操作簡便。
主要參數
1、鍍膜室體積:500×500×600mm3,規格可定做;
2、限真空度:6.7×10-5 Pa,恢復真空:從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤(40分鐘);
3、真空抽氣系統:機械泵與復合分子泵組成;真空測量系統:復合數顯真空計;
4、蒸發源:電子束蒸發源:270°E型電子槍及高壓電源,電子槍表面粗糙度樣板功率0~6KW可調;
           電阻蒸發源:銅水冷電4根,功率:3kW/10V兩組;
5、結構形式:立式前開門后置抽氣系統;
6、工件烘烤溫度:室溫~800℃可控可調(PID控溫);
7、旋轉夾具:公轉或行星公自轉夾具。速度從 0r~30r/min 可調;
8、選配件:光學膜厚測量系統、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等;
9、供電電源:三相AC380V,50Hz;整機功率22KW。
www.ghitest.com


 



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