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SPS旋涂儀是高品質(zhì)、全NPP POLOS單晶片，專為MEMS、半導體、PV、微流體領域等領域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計。適用于所有典型的旋涂。工藝：清潔、沖洗/...
勻膠機是高品質(zhì)、全NPP POLOS單晶片，為MEMS、半導體、PV、微流體域等域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計。適用于所有典型的旋涂。工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、...
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