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產品簡介
Meissner水汽捕集冷頭麥森納低溫冷阱溫度低至120K[-153°C]，水蒸氣泵速率可高達43000l/s
詳細介紹
Meissner水汽捕集冷頭麥森納低溫冷阱溫度低至120K[-153°C]，水蒸氣泵速率可高達43000l/s，壓縮機皮實耐用，適用于工業生產中的操作和使用，而且占地面積小。高效節能的壓縮機組通常只需要500瓦的電力。冷卻溫度可低至120K[-153°C]，從而使之適用于UHV范圍。低溫使得在UHV范圍以及粗真空范圍內的應用成為可能。由于其易于安裝，該系統還適合作為真空室的附加裝置，以便快速降低水蒸氣分壓，從而實現更高的工藝吞吐量。此外，也適用于高度污染的真空工藝，如聚對二甲苯應用或CVD涂層工藝。易于安裝和清潔的可能性使該系統成為標準真空泵（例如旋轉葉片泵、渦輪泵）以及用于多種真空工藝的低溫過濾器解決方案的理想擴展。通過使用這些水汽捕集冷頭，工藝生產率可以得到提高，真空工藝泵也受到這些低溫冷阱的保護，可用于半導體工業中的其他工藝，例如薄膜工藝設備。
除本款設備之外，我們還有能夠兼容于標準方法、具有高性價比的同類產品。
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