等離子清洗機采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機外接一臺真空泵，工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時間的清洗就可以使有機污染物被*地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗程度達到分子級。等離子清洗機器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據需要改變某些材料表面的性能，等離子體清洗機作用于材料表面，使表面分子的化學鍵發生重組，形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中等離子清洗機器的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。

等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機的表面接枝與聚合作用：

在等離子體表面活化產生的基團或等離子體引發聚合層不能與材料表面牢固結合時，采用等離子體接枝的方法來改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產生新的活性基團，利用此基團與后續的活性物質產生化學共價鍵結合，后續的活性物質中帶有能夠滿足應用的特定基團，以達到既能滿足表面特性又能牢固結合的目的。

等離子清洗機是利用等離子體的高能量、不穩定的特點，當固體材料表面接觸到等離子體后，表面的微觀結構、化學性質、能量都會發生變化。

等離子清洗機的表面改性，就是利用等離子體的特點，對需要處理的固體材料表面進行清潔、活化、激活，從而實現改變表面微觀結構、化學性質、能量的目的。