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東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： kubler庫(kù)伯勒編碼器，kubler旋轉(zhuǎn)編碼器，HYDAC壓力傳感器，EGE傳感器，力士樂(lè)比例閥 |
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2025-6-3 閱讀(106)
美國(guó)BIRD精密射頻傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)主要有以下作用：
高精度功率測(cè)量：
確保生產(chǎn)過(guò)程精確性：半導(dǎo)體制造中，射頻能量直接影響反應(yīng)室中等離子體特性，而等離子體特性對(duì)生產(chǎn)質(zhì)量至關(guān)重要。BIRD 精密射頻傳感器能提供高精度功率測(cè)量，如 7027 系列傳感器在校準(zhǔn)頻率下對(duì)連續(xù)波和脈沖信號(hào)測(cè)量精度可達(dá) 1%，4027F 系列具備 ±0.1dB 的超高精度測(cè)量能力，可準(zhǔn)確測(cè)量射頻功率，保證生產(chǎn)過(guò)程中射頻能量的精確控制，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和一致性，減少不良產(chǎn)量。
支持實(shí)驗(yàn)室級(jí)測(cè)量：為半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程中的器件校準(zhǔn)提供高可靠性的功率測(cè)量方案，滿足實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的高精度測(cè)量需求。
BIRD精密射頻傳感器優(yōu)化射頻源性能：
提高設(shè)定點(diǎn)精度：可以提高射頻源的設(shè)定點(diǎn)精度，使射頻源輸出更穩(wěn)定、更精確的功率，確保半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。
優(yōu)化源與源之間的一致性：優(yōu)化整個(gè)生產(chǎn)設(shè)備中射頻源與射頻源之間的一致性，保證不同設(shè)備或同一設(shè)備不同時(shí)間的生產(chǎn)過(guò)程具有相同的射頻功率條件，有助于提高整體生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。
BIRD精密射頻傳感器信號(hào)分析與處理：
諧波濾波：部分型號(hào)如 7027 系列具有諧波濾波功能，可有效抵御雜散信號(hào)和電磁干擾，確保測(cè)量數(shù)據(jù)的純凈度和準(zhǔn)確性，為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的信號(hào)處理提供更可靠的依據(jù)，避免諧波等干擾對(duì)生產(chǎn)造成不良影響。
脈沖信號(hào)測(cè)量與分析：能精確測(cè)量脈沖信號(hào)，如測(cè)量脈沖狀態(tài)寬度、脈沖重復(fù)頻率等參數(shù)，還可簡(jiǎn)化多層脈沖的測(cè)量，對(duì)于半導(dǎo)體制造中涉及的脈沖射頻工藝（如一些刻蝕、沉積工藝）的監(jiān)控和優(yōu)化具有重要意義。例如 7027 系列可測(cè)量脈沖狀態(tài)寬度低至 1μs（取決于傳感器），脈沖重復(fù)頻率從 10Hz 到 100kHz，7023 系列能測(cè)量脈沖信號(hào)功率下的門(mén)限功率值等多種調(diào)制參數(shù)。
BIRD精密射頻傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控與過(guò)程控制：
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)過(guò)程：具有快速響應(yīng)能力，能實(shí)時(shí)捕捉射頻信號(hào)的瞬態(tài)變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)控，及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常情況并進(jìn)行調(diào)整，保障生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定運(yùn)行。例如通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)流程監(jiān)控可在運(yùn)行時(shí)實(shí)時(shí)檢測(cè)生產(chǎn)過(guò)程中的射頻功率狀況，以便及時(shí)采取措施糾正偏差。
支持自動(dòng)化生產(chǎn)：可通過(guò)用戶界面或 API 簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)收集工作，也可使用 SCPI 命令集實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，便于集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)的自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)和控制系統(tǒng)中，提高生產(chǎn)效率和自動(dòng)化程度，減少人工干預(yù)帶來(lái)的誤差和不確定性。
設(shè)備校準(zhǔn)與驗(yàn)證：通過(guò)射頻發(fā)生器校準(zhǔn)和驗(yàn)證，確保射頻發(fā)生器輸出的可靠性，為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的正常運(yùn)行和精確控制提供保障，有助于維持整個(gè)生產(chǎn)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和一致性
