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奧林巴斯半導體檢測顯微鏡MX61L/ MX61使用說明
奧林巴斯半導體檢測顯微鏡MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法（DIC）、熒光法、紅外線法和深紫外線法，的光學系統(tǒng)保證了的圖像分辨率和鮮明度。向您推薦的好的半導體檢測顯微鏡。
前面板在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。
[1] 照明強度旋鈕 [2] 物鏡倍率切換 [3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)
觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒，為了適應(yīng)視點而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置，對應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。
物鏡是觀察樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應(yīng)對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。
MPLAPON | 平場復消色差透鏡 |
MPLFLN | 平場半復消色差透鏡 |
MPLFLN-BD | 明暗視場用平場半復消色差透鏡 |
MPLFLN-BDP | 反射偏振光用平場半復消色差透鏡 |
LMPLFLN | 長工作距離平場半復消色差透鏡 |
LMPLFLN-BD | 明暗視場用長工作距離平場半復消色差透鏡 |
MPLN | 平場消色差透鏡 |
MPLN-BD | 明暗視場用平場消色差透鏡 |
SLMPLN | 超長工作距離平場消色差透鏡 |
LCPLFLN-LCD | 液晶長工作距離平場半復消色差透鏡 |