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表面檢查燈，從廣義上來說是檢查表面缺陷瑕疵等情況燈具的都是表面檢查燈。有的因?yàn)楸挥糜诓煌馁|(zhì)表面檢查不同的情況，而被冠以不同命名。如：上海峰志儀器有限公司表面檢查燈主要是檢查玻璃、屏幕、晶圓等材質(zhì)表面瑕疵（微塵、刮花）的為表面缺陷瑕疵檢查燈，用于管道等脫脂清洗后的情況的叫做脫脂檢查燈，更多表面檢查燈如下：

表面缺陷瑕疵檢查燈--檢查晶圓、屏幕partilce

---檢查屏幕、晶圓、玻璃、面板，基板等材質(zhì)表面檢查燈，主要為綠光、橙黃光、黃綠光，樣式有手電筒式、手持式、桌面式（坐式和夾式），懸掛式