儀器基本原理

核心部件：PSD（Position Sensitive Detector），由 P 襯底、PIN 光電二極管及表面電阻組成，能測量光點在測量面上的連續位置變化，與 CCD 探測器相比，具有位置分辨率高、光譜響應寬、響應速度快等優點

測量原理：以激光束為直線基準，在空氣中沿理想直線傳播，通過 PSD 接收器測得被測對象表面或運動機構的位置偏移量，再由測量軟件根據各測量點偏移量計算得到各項參數。

功能與性能

- 測量功能：可測量直線度、平行度、垂直度、平面度、軸線偏移等，能同時測量高低和水平兩個方向，支持公差帶顯示、分段評價、數據比較，實時繪制誤差曲線圖，采用端點法、最小二乘、最小區域等算法。

產品特色

 - 高精度雙軸 PSD 接收器，分辨率達 0.1μm。

一鍵調光，改變傳統調光方式，提高測量效率，一次可將兩端偏差調整到微米級。

長距離調光工具，微調分度值 0.5μm。

自動測量單元 AMU80，測量距離 0.03m - 80m，精度 ±(1mm + 0.05% D)，輸出頻率最高 20Hz。

棱鏡 VP5 - 20，精度 90°±1″，可 3 個方向調節，適用于大跨距平行度與垂直度測量。

性能指標：系統誤差（MPE）為 ±(1%?L + 1μm)，分辨率最高 0.1μm，棱鏡垂直偏差 ±1″，測量范圍 10mm×10mm（雙軸），最大測量距離 0 - 50m。