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質量流量為計量單位的流量計及控制器（簡稱為MFM，MFC）的主要特性是其測量結果大部分與流體的質量相關，而受基本不受其它物理特性的影響，因此具有較高的準確度（精度）。

如何判斷一臺質量流量計或流量控制器的性能是否*，會涉及很多方面的性能判斷：精度（準確度）、重復性、線性度、穩定性、漏率 等等。。。 。。。對于不同的應用，判斷的依據或性能要求本身就會有很大區別。由于質量流量計及流量控制器的造價相對高一些，所以精度（準確度）及穩定運行的可靠性對于任何應用來說都是最基礎的性能要求。

對于高精密儀器及設備來說，質量流量計或流量控制器的精度非常重要，因為這有可能直接關系到儀器或設備自身的精準度或分辨率；除此之外，還要具有很好的重復性、線性度：就是同一臺流量計或流量控制器的多次、相同流量供給的測量或控制結果，得到的流量數值結果要接近于一致；而對于不同流量供給的測量或控制結果，其偏差值要有很好的線性比例關系）；

此外，有些應用場景還需要質量流量計或流量控制器有非常好的一致性，就是同一型號的流量計或流量控制器，雖然編號不同，但其測量結果要非常接近一致。

以及耐腐蝕性、防護等級、防爆要求等，由于不同的使用工況也會有不同的要求；對于一些軟件性能，比如通訊協議，不同的設備也會有特殊的要求。

當然，一些比較簡單的，要求不是很高的應用，只要能保證比較好的精度或者能保證出廠時提供的自身性能，即可以滿足要求。

總之，除了一些性能隨著不同使用工況會有不同的要求之外，一臺質量較高的質量流量計或流量控制器的最重要的基礎性能要求，就是要保證較好的、穩定的精度及穩定運行的可靠性。