由于其粘度、組成和濃度的原因，磷酸的分析具有挑戰(zhàn)。在基質(zhì)組成和測量水平的共同要求下，ICP-OES 成為磷酸分析的工具。
本文描述了用ICP-OES 分析磷酸以滿足SEMI 要求。
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