珀金埃爾默公司的NexION 2000 電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）可提供多種*消除多原子離子干擾的方式。在鹽酸分析中，除去氯的干擾是至關重要的，目前有效的反應氣是高純氨氣和高純氧氣。
本文介紹了NexION 2000 ICP-MS 對半導體級鹽酸進行雜質分析的應用案例，*可以滿足或超越SEMI 標準。
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珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司 | 下載次數 |
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