1、汽化過氧化氫利用閃蒸技術將高濃度(30%-35%)過氧化氫汽化，使消毒劑由液態轉化為氣態，從而擴散到滅菌空間中，達到滅菌的效果；

霧化過氧化氫是指人們通過設備將消毒液霧化為小于 3-5μm甚至3μm以下的小液滴即所謂干霧技術，過氧化氫濃度較低，通常在12%以下；

2、汽態過氧化氫的優點是穿透性較強，滅菌能力高（達到log6）適合在管路，隔離器，傳遞倉，IVC，小型實驗室或小空間（200m3）運用效果佳。大空間如無菌制劑車間等運用效果不佳，主要是氣態過氧化氫的是通過空間內的過氧化氫濃度差來擴散的，由高濃度中心向四周梯度擴散，擴散后的均勻性不好，空間越大，均勻性越差，在噴射區域附近的腐蝕風險非常高，因為汽化過氧化氫滅菌設備需要使用高濃度過氧化氫,腐蝕性較強。而遠端可能因為濃度達不到可能出現滅菌效果不佳的情況；

干霧的特點是：他們在空氣中進行無規則運動 (布朗運動原理) ，在大空間中（200m3以上）擴散均勻性較好，且不會沉降,也不會聚合在一起產生大的液滴,在與物體表面接觸后會反彈,而不會破裂使表面濕潤。使得其在大空間中做空間和物表消毒殺滅浮游菌和沉降菌效果更好。適合大型空間如GMP潔凈車間、醫院手術室等的消毒滅菌。還有一個特點是因此干霧的這些性質使得其擴散性非常好,消毒時不留死角;不濕潤 表面;不腐蝕設備、彩鋼板和墻壁。

研究表明,霧化粒子越小,在空氣中懸浮時間越來越長,就越有機會與空氣中細菌充分接觸而達到消毒滅菌的目的