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干式分子泵組是真空技術中的一種高1端配置，專為要求更加潔凈、無油污染的高真空/超高真空系統設計。它通常由兩個核心部分組成：干式前級機械泵泵和分子泵。這種組合完1全摒棄了傳統真空泵中的油或脂潤滑，從大氣壓到超高真空全程保持系統潔凈，消除碳氫化合物污染風險。
主要應用于半導體制造， 晶圓廠的核心工藝設備（刻蝕機、CVD、PVD、ALD、離子注入機）；高1端光學鍍膜： 激光反射鏡、天文望遠鏡鏡片、光刻鏡頭鍍膜；表面科學與分析；
掃描/透射電子顯微鏡 (SEM/TEM) 樣品室要求嚴苛的科研與材料開發。
雖然初始成本高昂，但其潔凈度、卓1越的真空性能、極低的維護需求和長壽命，使其在半導體、尖1端科研和分析儀器等對真空環境要求近乎苛刻的領域成為不可替代的標準配置。
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