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ANELVA原為日本真空設備制造商，后被佳能（CANON）收購整合，成為其工業技術板塊的核心子品牌，專注高精度真空計量與控制系統研發?，主要服務于?半導體制造?、?精密鍍膜?、?科研實驗?等工業場景，提供真空環境下的壓力監測與過程控制解決方案?。 ANELVA以超高真空為基礎，主要事業內容是半導體制造裝置、存儲設備制造裝置、液晶制造裝置、太陽電池制造裝置、研究開発小規模生產裝置，其真空組件有真空泵、真空測量設備、分析儀器、真空零部件等。