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2023
12-072023
12-072023
12-07TN-AccuSizer SPOS系統和Nicomp DLS粒度儀安裝要求
AccuSizer®SPOS系統和Nicomp®DLS系統安裝要求本技術說明旨在幫助客戶為安裝新的AccuSizer®SPOS或Nicomp®DLS實驗室儀器提前做好準備。本文檔中介紹的型號包括AccuSizerSIS、AccuSizerAD、AccuSizerAPS和Nicomp系統。客戶通常需提供計算機來運行這些儀器,連接打印機用于打印報告。正確安裝軟件需要完整的管理權限。所有儀器的安裝和操作都需要經過過濾的去離子水。水的清潔度至關重要,如果背景顆粒計數過高,可能會使得安裝不成功或延緩安裝進2023
11-122023
11-12TN-CMP Slurry粒度檢測——SPOS技術對比LD技術
CMP研磨液粒度測量技術SPOS對比激光衍射CMP研磨液的粒度分析:SPOS與激光衍射半導體行業正在朝著更小的線寬和更多的層數發展。實現這種更高密度芯片技術的最重要的工藝考慮因素之一是對平坦化步驟更復雜的控制。平坦化或拋光步驟通過使用主要為二氧化硅和氧化鋁的膠體分散金屬氧化物漿料(化學機械平坦化或CMP)來實現,平均直徑在10–200nm范圍內。這些研磨液被施加到放置晶片的旋轉拋光墊上。過去,最_常_用激光衍射法表征這些研磨液的粒度分布。眾_所_周_知,這些研磨液中含有小體積百分比的粒徑大于1微2023
11-102023
11-102023
11-102023
11-102023
11-102023
10-262023
10-262023
10-262023
10-26光阻法顆粒計數器經典之作——AccuSizer780系列儀器
AccuSizer780光阻法顆粒計數器是運用光阻法單顆粒光學傳感技術(SPOS)對粒子樣本進行粒徑測試并計數,一次檢測一個粒子,來構建真正的粒徑分布。運用SPOS技術與激光衍射和沉降法所得到的粒徑統計學分布數據形成了鮮明對比,SPOS技術能夠在測量粒徑的同時收集顆粒數目信息,對顆粒進行的計數。與經典的電阻法相比,AccuSizer780系列儀器所得到的粒徑分布具有更高的分辨率和性。AccuSizer780系列儀器不會錯過任何“尾部”大顆粒,而這往往決定著被測樣品的合格與否。廣泛的測量范圍,高速2023
10-202023
10-092023
09-252023
08-022023
07-272023
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