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04-18不同膠液特性下的適配方案:臺式勻膠機在光刻膠、聚合物中的應用技巧
1.膠液特性對勻膠工藝的影響1.1光刻膠的特性與挑戰高粘度與快速固化:光刻膠(如SU-8)需高轉速(3000-6000rpm)配合短加速時間,避免膠液未鋪展即固化。表面張力敏感性:低表面張力膠液易產生邊緣厚積,需結合預潤濕工藝(如旋涂前噴涂抗排斥劑)。1.2聚合物的特性與挑戰粘度范圍廣:從低粘度聚乙二醇(PEG)到高粘度聚酰亞胺(PI),需動態調節轉速曲線(如階梯式加速)。溶劑揮發性差異:揮發性溶劑(如丙酮)需快速旋涂(4000rpm)減少針孔,而非揮發性溶劑(如NMP)需延長低速階段(500-2025
03-252025
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