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測試項目包含:表面三維形貌輪廓測量、面粗糙度、BUMP球檢測、寬度/高度/距離、平面度、顆粒分析、紋理分析、臺階高度、缺陷檢查、雙面測厚、孔隙率、圓孔面積、微納表征等測量。
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