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氧氣透過率測試儀分上下兩部分，薄膜固定在中間，高純氧氣在薄膜的上腔流動，高純氮氣在薄膜的下腔流動，氧分子透過薄膜擴散到另一側的氮氣中，被流動的氮氣攜帶至傳感器，通過對傳感器測量到的氧氣濃度進行分析，從而計算出氧氣透過量。對于包裝容器而言，則在容器內流動，空氣或高純氧氣包圍在容器的外側，用樣品膜將試驗腔分為兩半，在樣品膜的兩側分別通入連續流動的氧氣和氮氣，樣品兩側的大氣壓相等，利用氧氣在樣品膜兩邊的恒定濃度差而引起滲透，將透過的氧氣全部運送到傳感器上，氧氣透過率測試儀的傳感器必須采用庫侖電量法傳感器，這是一種符合法拉第定律的值傳感器，滲透過來的氧氣經過傳感器，傳感器就會釋放出4倍的電子，根據電流的大小就能檢測出通過傳感器的氧分子數量。
氧氣透過率測試儀的測試方法：庫侖電量法，滿足GB/T 19789-2005、ISO 15105-2、ASTM D3985、ASTM F1927、ASTM F1307等關于設備性能的要求；
氧氣傳感器：無需校準的庫侖電量值傳感器。
氧氣透過率測試范圍：0.0005~ 200 cc/m2day（50cm2的測試面積）；
測試重復性：±0.0005 cc/m2day或讀數的±1%（滿足大者）
測試腔溫度范圍：10～40℃（±0.5℃）；
測試腔濕度范圍：0%，35%～90%RH（±3%RH）
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