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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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EC-5202-總經(jīng)銷(xiāo)HORIBA堀場(chǎng) 高分辨率性能排氣壓力控制器
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貨物所在地:廣東深圳市

地: 日本

更新時(shí)間:2025-01-01 17:03:52

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Hugle藤宮
OHKURA大倉(cāng)
YAMADA 山田
KUBOTA久保田
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ORC歐阿希
TOPCON拓普康
TESTRAM 泰斯特瑞
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HORIBA堀場(chǎng)
IWAKI易威奇
NICHIRYO立洋
MITSUBISHI三菱電機(jī)
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MIYACHI米亞基
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COSMOS新宇宙
COSMO科斯莫
總經(jīng)銷(xiāo)HORIBA堀場(chǎng) 高分辨率性能排氣壓力控制器
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
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總經(jīng)銷(xiāo)HORIBA堀場(chǎng)  高分辨率性能排氣壓力控制器

總經(jīng)銷(xiāo)HORIBA堀場(chǎng)  高分辨率性能排氣壓力控制器

對(duì)氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對(duì)于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微小壓力控制,還可以進(jìn)行流量測(cè)量。

業(yè)務(wù)部門(mén):半導(dǎo)體

產(chǎn)品類(lèi)別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過(guò)使用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的電容式壓力傳感器,可以在低壓下進(jìn)行精確的壓力控制。

壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。

對(duì)氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對(duì)于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微壓差控制,還可以進(jìn)行流量測(cè)量。

業(yè)務(wù)部門(mén):半導(dǎo)體

產(chǎn)品類(lèi)別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.

供貨精準(zhǔn)穩(wěn)定

配備質(zhì)量

流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器,可以以與原料氣體供應(yīng)過(guò)程相同的精度監(jiān)控實(shí)際流量。

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容,因此可以進(jìn)行類(lèi)似的設(shè)計(jì)和構(gòu)造。

符合RoHS指令

這是一款配備數(shù)字控制電路的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器,該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。

采用全金屬結(jié)構(gòu)(氣體接觸部分)和無(wú)死體積結(jié)構(gòu),可對(duì)腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進(jìn)行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號(hào)進(jìn)行遠(yuǎn)程控制,非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中,例如需要全面性能評(píng)估的氣體傳感器和耐壓評(píng)估系統(tǒng)。


EC-5104

互動(dòng)規(guī)模西北40
氣體接觸材料SUS-316L、Viton®
電導(dǎo)
(真空區(qū)域)
0.4~80升/秒
流出量100mmH2O
(全閉)

20升/分鐘


可滾動(dòng)的

EC-5105

互動(dòng)規(guī)模西北50
氣體接觸材料SUS-316L、Viton®
電導(dǎo)
(真空區(qū)域)
0.6~200升/秒
流出量100mmH2O
(全閉)
25升/分鐘
可滾動(dòng)的

EC-5202

互動(dòng)規(guī)模25mm Teflon® 接頭
1 英寸 Teflon® 接頭
氣體接觸材料PTFE、PEEK、Viton®
電導(dǎo)
(真空區(qū)域)
0.4~80升/秒
流出量100mmH2O
(全閉)
3升/分鐘
可滾動(dòng)的








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