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實現突破！國產化臺階儀成功面世
2022年06月24日 10:15:17
來源：化工儀器網 作者：小王 點擊量：31751
進口臺階儀受限帶來的是越來越多國內半導體企業對于國產臺階儀的迫切需求。而就在今年，這一情況被打破了。2022年6月，安徽澤攸科技有限公司推出了自主研發的全國產化臺階儀JS100A，國產化臺階儀至此也實現了重要突破。
【化工儀器網 新品推薦】臺階儀(Profiler)，一種接觸式表面形貌測量儀器，因為精度高、量程大、測量結果穩定可靠、重復性好等優點，在微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫療、科學研究和材料科學等領域，被廣泛用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量。而就是這樣一種常見且關鍵的測量設備，一直以來卻被美國Bruke、美國KLA、日本Kosaka三家廠商壟斷，國內處于一個無同類國產產品可用的狀態。
進口臺階儀受限帶來的是越來越多國內半導體企業對于國產臺階儀的迫切需求。而就在今年，這一情況被打破了。2022年6月，安徽澤攸科技有限公司推出了自主研發的全國產化臺階儀JS100A，國產化臺階儀至此也實現了重要突破。
JS100A臺階儀采用了金剛石探針，提供了兩個彩色攝像頭對樣片和針尖同時成像，可清晰準確找到測試位置，實現無畸變觀察樣品區。同時，在實時掃描過程中，JS100A能自動切換輔助顯微鏡，進一步保障掃描的準確性。
而在核心技術方面，JS100A實現了3個突破，即“大行程超平面掃描技術”“大行程壓電陶瓷驅動快速進針技術”“大帶寬大行程納米微動臺技術”，這三大突破也讓臺階儀具備了超精細的運動控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號采集。
此外，從儀器商品的角度來說，JS100A臺階儀作為全國產化臺階儀，售價會遠低于進口產品，可以降低用戶的采購成本，并且相對的，能夠提供更加完善便攜的售后服務，給用戶帶去更多便利。
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