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中科儀北交所IPO申請獲受理 擬募資擴產半導體核心設備
2025年07月17日 14:22:51
來源：化工儀器網 作者：宋池 點擊量：262
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（中科儀）北交所IPO申請獲受理。本次IPO擬募資8.52億元，主要用于干泵擴產、高端半導體設備研發中心建設及新一代產品研發。
北京證券交易所于6月30日正式受理了中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司(簡稱：中科儀)的首次公開發行股票并上市的申請。
中科儀是中國領先的干式真空泵及真空科學儀器設備供應商，主營業務為干式真空泵和真空科學儀器設備的研發、生產、銷售及相關技術服務。其核心產品干式真空泵是集成電路晶圓制造及光伏電池等泛半導體生產中的關鍵設備，長期由歐美及日本企業主導。中科儀通過自主研發實現了技術突破。
在干式真空泵領域，中科儀的產品滿足14nm先進邏輯芯片及128層及以上3D NAND存儲器的工藝要求，并在國內先進制程領域實現批量應用。公司已服務于中芯國際、長江存儲、華虹集團、長鑫存儲、華潤微、上海積塔、廣州粵芯等國內主流晶圓制造企業，以及北方華創、拓荊科技等半導體設備廠商。其產品已通過臺積電、大連英特爾、SK海力士的測試驗證，實現小批量出貨。除硅基半導體外，產品在碳化硅、砷化鎵等化合物半導體制備中也實現批量交付。
在真空科學儀器設備領域，中科儀深度參與國家重大科技基礎設施建設，先后承擔了包括北京正負電子對撞機、上海光源、北京高能同步輻射光源等在內的11項國家重大科技基礎設施的關鍵真空部件研制工作，是光束線、波蕩器、前端區等核心部件的最主要研制單位。其前身成功研制了國產分子束外延設備(MBE)，打破了國外長期禁運。
財務數據顯示，中科儀近年來業績持續增長。2022至2024年，公司營業收入分別為6.98億元、8.52億元和10.82億元；對應的凈利潤分別為4.98億元、6億元和1.93億元。
此次IPO，中科儀計劃募集資金8.52億元，主要用于三個項目：
干式真空泵產業化建設項目擬使用募集資金2.31億元，建設期4年。該項目旨在通過新建廠房、購置高端生產設備、建設智能化產線，顯著提升干式真空泵的產能，最終形成年產20,040臺的生產能力。項目將大幅提升加工產線的自動化及智能化水平，目標自動化率超過90%。公司指出，在集成電路晶圓制造生產線中，約70%的專用裝備需要在真空工藝環境下生產組裝，干式真空泵因其環保、高效、清潔無油及耐腐蝕的特性，成為該行業的首選真空獲得設備。目前項目已完成土地購置、部分廠房及產線建設以及部分設備購置。
高端半導體設備擴產及研發中心建設項目擬使用募集資金4.74億元。該項目將建設高端半導體設備生產、研發及配套設施，引入自動化生產設備和先進的研發測試儀器。主要目標是擴大H系列干式真空泵的產能，該系列產品是集成電路設備(如刻蝕、PVD、CVD工藝)中的重要配套設備，也可應用于泛半導體領域。同時，項目也將擴產少量主要用于科研、工業、醫藥等領域的渦旋泵。
新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發項目擬使用募集資金1.21億元，建設期3年。該項目將研發面向半導體領域的超高速節能泵、超高溫泵等新一代干式真空泵產品，同時面向泛半導體、工業真空、儀器制造、科學研究等更廣闊市場，開發大抽速干式螺桿真空泵及羅茨螺桿真空泵機組。項目還將建設數字化管理平臺，以支撐未來的研發與業務發展。
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