PicoFemto透射電子顯微鏡樣品桿預抽存儲系統（T-station）由內置進口分子泵組、樣品桿預抽室及觸摸顯示屏組成。適用于各品牌透射電鏡樣品桿，保證樣品桿長期處于高真空狀態，減少進樣預抽時間，保持樣品桿潔凈，搭配顯微鏡系統還可以對液體芯片等進行預抽撿漏。

該設備經過拓展搭配進口等離子體清洗源附件，可滿足樣品桿高真空存儲、樣品表面積碳去除及原位芯片親水改善多個使用需求

圖 樣品桿等離子體清洗系統（T-station）

• 等離子源性能指標

△ 電感耦合等離子體源，多種氣體通道可選、可混合；
△ 順流等離子體清洗方式，無加熱和濺射損傷，可直接清洗TEM碳膜樣品，不傷樣品，提高樣品低電壓下成像能力；
△ 選配快速轉換接頭，等離子源可在多個真空腔體間無縫轉換清洗，防止積碳問題對分辨率及微區元素分析產生的影響；
△ 集成式控制器，清晰易讀且準確的顯示屏，觸摸屏控制，實時線上真空度；
△ 高性能分子泵組，長期穩定保證高真空度；
△ 集成式空氣冷卻器：用于冷卻內部部件，避免使用多個風扇；
△ 全金屬框架，經久耐用。
△ 功率在5-100W之間連續可調，方便用戶找到適合的清洗功率；
△ 搭配分子泵組的高真空腔體，抽速84L/sec，可實現-4Pa量級的真空度；
△ 可選配3個樣品桿桿位；