研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設(shè)備NLD-570
研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設(shè)備NLD-570，是搭載了愛發(fā)科磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術(shù)可實現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。
產(chǎn)品特性 / Product characteristics
•NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工。
•高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工，在形狀或表面平滑性方面有優(yōu)異的刻蝕性能。•石英及玻璃作為厚膜resist mask時的也可實現(xiàn)深度刻蝕（100μ m以上）。•可實現(xiàn)高速刻蝕（石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min）•可追加cassette室。產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
• 光學(xué)器件（光衍射格子、変調(diào)器、光開關(guān)等等）、凹凸型微透鏡。流體路徑作成或光子學(xué)結(jié)晶。
產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
1、公司介紹
深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學(xué)團隊孵化，致力泛半導(dǎo)體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。
公司主要業(yè)務(wù)如下:
裝備銷售:半導(dǎo)體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試裝備、半導(dǎo)體光電測試儀表。
設(shè)備服務(wù):駐場或者 oncall，裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持。
廠務(wù)服務(wù):駐場或者 oncall，人力服務(wù)及廠務(wù)二次配工程。
經(jīng)歷五年高速發(fā)展，2023 年營業(yè)額達 3.2 億，連年復(fù)合增長率達 300%，現(xiàn)處于穩(wěn)定擴張期。
2、成長歷程
•2020年（公司成立年）
•2300萬訂單額
2021年 7000萬訂單額
2022年 2.5億訂單額
2023年3.2億訂單額
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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
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