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量產(chǎn)用刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800

量產(chǎn)用刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800是可以對應(yīng)單腔及多腔、重視性價比擁有擴(kuò)展性的刻蝕設(shè)備
  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • •      除單腔之外,另可搭載有磁場ICP(ISM)或NLD等離子源、去膠腔體、CCP腔體等對應(yīng)多種刻蝕工藝。

    為實現(xiàn)制程再現(xiàn)性及安定性搭載了星型電及各種調(diào)溫技能。

    擁有簡便的維護(hù)構(gòu)造,縮短了downtime,提供清洗、維護(hù)及人員訓(xùn)練服務(wù)等綜合性的售后服務(wù)體制。

    門的半導(dǎo)體技術(shù)研究所會提供完備的工藝支持體制。

  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

  • 化合物(LED或LD、高頻器件)或Power device(IGBT配線加工、SiC加工)。
    金屬配線或?qū)娱g絕緣膜(樹脂類)、門電加工工藝
    強(qiáng)電介質(zhì)材料或貴金屬刻蝕。
    磁性體材料加工。
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters


1、公司介紹
深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司成立于 2020年,由武漢大學(xué)團(tuán)隊孵化,致力泛半導(dǎo)體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。
公司主要業(yè)務(wù)如下:
裝備銷售:半導(dǎo)體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試裝備、半導(dǎo)體光電測試儀表。
設(shè)備服務(wù):駐場或者 oncall,裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持。
廠務(wù)服務(wù):駐場或者 oncall,人力服務(wù)及廠務(wù)二次配工程。
經(jīng)歷五年高速發(fā)展,2023 年營業(yè)額達(dá) 3.2 億,連年復(fù)合增長率達(dá) 300%,現(xiàn)處于穩(wěn)定擴(kuò)張期。
2、成長歷程
•2020年(公司成立年)
•2300萬訂單額
2021年 7000萬訂單額
2022年 2.5億訂單額
2023年3.2億訂單額




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