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產      地:
北京
所在地區:
陜西西安市
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pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀是一款專門用于檢測半導體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的實用型產品,具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點,可檢測硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣、氨氣等上百種氣體,適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等行業。電化學探頭直接采樣,配有方便背包、打印功能,對現場檢測、或實驗室檢測尤其方便適用。

便攜式氣體分析儀應用:

環境檢測

污染源檢測

工業工藝現場分析

科學研究實驗室分析

軍事毒氣安全

勞動安全,施工安全

化學泄露、事故分析


pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀技術指標:

BD4主機測試ADC分辨率: 0.025%FS

電化學探頭準確度: ±1-2%讀數(一般)

長期穩定性: +/-10% /年 (一般)

分析器響應時間:< 10ms

探頭響應時間:<1min

儀器使用環境: 溫度:-10℃~60℃; 濕度:10%~90%R(無結露)

儀器保存環境: 溫度: 0℃~50℃; 濕度:10%~80%R(無結露)

電化學探頭直接采樣: 溫度: 0-40℃; 壓力:<1.1 kgf/cm2

供電: 6V充電蓄電池

連續使用時間: >24Hr/每次充電; 電池置放時間1周。


便攜式有毒氣體快速檢測儀測試參數及技術指標:

技術參數

技術

說明

PH3-4PH:0.05-20ppm

SiH4-4SL:0.05-50ppm

AsH3-3E1:0.015-1ppm

Chlorides: 0.7-30ppm

Fluorides: 0.25-10ppm

H2:0-4%VOl

EC

EC

EC

EC

EC

EC

擴散式采樣; 半導體車間全毒氣報警, 有一定的區辯能力.

ChloridesHCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有響應;

FluoridesHF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有響應; Gas200通過標定系統甚至可能對H2B6.GeH4,H2Se進行定性定量探測.



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