便攜式智能氣路控制儀是基于熱式氣體質量流量控制器，來進行四種氣體（強腐蝕性氣體除外）混合，濃度稀釋的一種裝置。可根據客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進行控制。
產品尺寸：
產品特點（優勢）：
更智能 更便攜 更小巧 更精準
★ 手動自動配氣 ★流量監測、記錄 ★多種氣體可選 ★數據異常檢測 ★遠程通訊控制
產品原理圖：
產品參數：
產品名稱 | 便攜式智能氣體控制儀 | |
項目 | 參數 | 備注 |
流量范圍 | 標準四路 | 100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM |
精度 | ±1%F.S. | 可通過系數修正微調精度 |
響應時間 | 2秒 | |
重復性 | 0.2%F.S. | 單路重復精度0.2%F.S. |
截止功能 | ≤0.6MPa | 標配，位于總出氣口，常閉截止閥 |
整機尺寸 | 185×160×190 | 寬×高×深 |
供電電壓 | 24VDC | 50W |
單項功能 | √ | 4路標配，位于混氣前，避免氣體返流 |
自動進氣 | √ | 4路標配，按時間和流量自由編輯 10段數據點，3組數據切換，任意循環 可實現：濃度配氣，時間配氣，壓力配氣 |
自動報警 | √ | 標配，自動報警，自動關斷，實時監控設備狀態 |
數據處理 | √ | 標配，數據記錄保存，導出到U盤進行存儲 |
外接通訊 | 可選 | MODBUS-RTU |
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