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工業半導體三維加工系統Quantum X shape是Nanoscribe公司推出的一款高精度3D打印系統,該系統基于雙光子聚合技術(2PP),在3D微納加工領域擁有的精度和廣泛的應用潛力。以下是對QuantumXshape產品的詳細介紹:

一、技術特點

高精度打印QuantumXshape可實現納米尺度的打印,在任意空間方向上的特征尺度控制可達100nm,同時表面粗糙度(Ra)小于5nm。這種高精度得益于其體素調制比和超精細處理網格,實現了亞體素的尺寸控制。

高速加工:該系統具備超快體素控制和100nm處理網格的高速3D微納加工能力,結合優良的振鏡軌道控制,保證了快速掃描速度下的軌跡準確度。

自動化與智能化QuantumXshape配備了自動滴膠模組和自動化自校準路徑,保證了高精度激光能量控制及定位。同時,系統集成的觸控屏和遠程訪問軟件nanoConnectX,使得用戶可以方便地控制打印作業,實現遠程監控和多用戶配置。

二、應用領域

工業半導體三維加工系統Quantum X shape不僅適用于生物醫學、微光學、MEMS、微流道、表面工程學等領域的快速原型制作,還成為基于晶圓的小結構單元的批量生產的簡易工具。其高精度和靈活性使得它在多個科研和工業領域具有廣泛的應用前景。

三、主要優勢

設計自由度QuantumXshape可打印幾乎任何2.5D和3D微納結構,提供了的設計自由度。

高效生產:該系統具備高效的生產能力,過夜效率可達200個特征結構,適用于大規模生產需求。

兼容性強QuantumXshape支持多種打印材料,包括通用高性能雙光子聚合材料以及高分子和玻璃等,同時兼容自主及第三方打印材料。

四、系統配置

QuantumXshape作為一款直立式打印系統,具備光敏樹脂自動分配功能,非常適合標準6英寸晶圓片的工業批量加工制造。其先進的激光焦點軌跡控制和自校準程序,確保了打印作業的可靠性和準確性。

五、總結

QuantumXshape是Nanoscribe公司推出的一款集高精度、高速加工、自動化與智能化于一體的3D打印系統。它在3D微納加工領域展現了的性能和廣泛的應用潛力,為科研和工業生產提供了強有力的支持。



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