Horiba汽化器MV-2000 液體轉氣體流量計
液體混合注入，汽化能力20g/min（TEOS）
HORIBA 是高性能汽化系統的供應商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個半導體制程，可以安全有效地將液相化學品以氣相形態輸送至使用點。無論液態化學品是需要在真空下還是大氣壓下汽化，HORIBA 的汽化技術都能提供符合要求的汽化系統。包括：汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。
暢銷型號：VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.
MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實現穩定汽化，實現流量計的流量測量功能。適用于包含 “High-k”工藝液體在內的一系列液體源的汽化。
Horiba汽化器MV-2000 液體轉氣體流量計可通過使用氣液混合物汽化方法快速汽化各種液體源。該方法可實現高沸點液體的穩定汽化。
· 氣液混合物汽化方法確保穩定地汽化高沸點液體
· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃
· 蒸發區汽化溫度MAX 200℃
· 汽化效率高于傳統汽化方法
· 產生更大流量
· 汽化溫度降低
測量技術 注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。
1. 載氣和液體在控制閥中混合。
2. 液體在蒸發區瞬間汽化。
3. 氣體被釋放，防止凝結成液態。
技術參數
型號 | MV-2000 |
液體名稱 | 除腐蝕不銹鋼的液體外(如. HCl, HF) |
汽化能力（參考） | 20g/min (TEOS) 2g/min (H2O) |
耐溫 | 混合閥部分 : Max140℃ 汽化部分:Max200℃ |
泄露率 | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He) |
接液材質 | SUS316L , PFA |
溫度探頭 | K型熱電偶 |
耐壓 | 1MPa (G) |
標準接口 | 液體入口: 1/8 VCR公頭； 載氣入口：1/4 VCR母頭； 氣體出口: 1/2 VCR公頭 |
環境溫度 | 15 - 50 ?C |
可選項 | 氣體閥(內漏率: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) ) |
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