超聲波噴涂機 燃料電池 半導體光刻膠噴涂
超聲波精密噴涂機主要為初次接觸超聲波噴涂設備的企業、高校及研究院開發的設備。整臺設備結構簡潔大方，功能齊全，主要包括XYZ三軸伺服運動系統，選配R軸噴頭旋轉機構，搭配功能全面的軌跡編輯系統，實現任意二維平面圖形，如矩形、圓形、三角形或曲線的噴涂功能。可配備FUNSONIC的任意一款超聲波噴頭，同時配備精密型恒流注射泵、導流氣精密調壓系統、自動傳送設備，實現自動傳送噴涂。可選配超聲分散供液系統、真空吸附加熱基板等功能。
超聲波噴涂是一種光刻膠和聚酰亞胺涂料的簡單、經濟和可重復工藝。超聲波涂層系統能夠使用簡單的分層技術精細控制流量、涂層速度和沉積量。
超聲波噴涂技術用于半導體光刻膠涂料。與傳統的紡紗涂層和浸漬涂層工藝相比，具有均勻性高、微結構封裝性好、涂層面積可控制等優點。近10年來，三維微結構光刻膠涂層的應用得到了充分的論證。超聲波霧化噴涂制備光刻膠涂料的工藝在微結構包裝和均勻性工藝方面明顯優于傳統的紡絲涂料。
超聲波噴涂系統能精確控制流量、涂層速度和沉降體積。低速噴霧成型將噴霧定義為一種精確的、可控制的圖案，以避免在產生非常薄和均勻的層時過度噴霧。該超聲波噴涂系統可控制從亞微米到100微米以上的厚度，并可覆蓋任何形狀或尺寸。
超聲波噴涂機 燃料電池 半導體光刻膠噴涂的特點：
◆各種表面輪廓的均勻薄膜覆蓋
◆非接觸噴灑
◆微氣流噴灑,多種液體喂養方案
◆高速控制精度
◆高液體利用率
◆化學和涂層性能的高度靈活性
◆噴霧噴霧
◆高傳輸效率和最小廢物
◆可重復的成熟噴灑工藝
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