YAMATO真空裝置YY-775
該裝置對操作者在安裝在腔室中的工件表面施加的化學溶液進行熱處理。
它是一種以干燥為目的的真空裝置。
在加工時間設定器（帶內置顯示功能的面板安裝型 PLC）、真空計和壓力傳感器的設定點
假設真空干燥過程將受到控制。
設備規格
真空裝置 | W500XD880XH1106 (mm)蓋子關閉時，不包括突起和管道。 估計重量 90Kg |
變壓器BOX | W510XD650XH515(mm) ? ? ? 不包括突出部分 估計重量 120Kg |
真空泵（MU100P） | W275XD580XH360（mm） ? ? ? 不包括突出部分 估計重量 65Kg |
冷水機（CF800G） | W350XD630X840（mm） ? ? ? 不包括突出部分 估計重量 55Kg |
電源 | 3φ AC380V 50Hz 13.2kVA（斷路器容量20A） 性能保證電源電壓波動±5% 操作保證電源電壓波動±10% |
實際容量 | 3φ AC380V 13A±10% 初級電源變壓器BOX電源線連接 |
Drive AIR | 連接直徑φ6一鍵式接頭 0.5MPa以上 50NL/min以上 |
吹掃空氣 | 連接直徑φ6一鍵式接頭 0.5MPa以上 60NL/min以上 |
N2（用于真空泵） | 連接直徑1/4管件 0.1-0.7MPa 45NL/分鐘 |
冷卻水（用于真空泵） | 連接口Rc1/4（帶ParKer自密封耦合器） 最大供給壓力 0.5MPa ?G（表壓）（0.2-0.5MPa） 流量2-3L/min 溫度10-25℃ CF800G冷水機冷卻水循環 |
排氣（真空泵用） | 連接口φ50風道（由泵側NW25改成設備側φ50風道） |
基本性能
極限真空 | 10Pa以下 |
真空保持能力 | 抽真空至13Pa后，關閉主閥保持 保持27Pa-53Pa 10分鐘 |
* 以上性能為空載無樣品。
* 以上性能基于室溫23℃±5℃、濕度65%±20%的環境值。 但是，如果夏季和冬季之間存在溫差，則這不適用。
配置
真空裝置
外觀 | 鋁框和不銹鋼板 |
腔室 | 鋁氧化鋁處理（白色） |
腔體內部結構 | 鋁防蝕處理（白色） |
腔室密封 | 氟基 O 形圈 |
腔室開/關機構 | 手動開/關 通過氣體阻尼器的打開維護和打開/關閉輔助 用肘節夾關閉時的輔助 具有箱蓋聯鎖功能 |
配管材質 | 不銹鋼材質 |
吹掃過濾器 | 清潔管路過濾器 FCS500 型 CKD |
吹掃空氣流量計 | 最大刻度60L/min 模擬型 |
吹掃空氣調節器 | 調節器 10 系列（兼容清潔）SMC |
吹掃用電磁閥 | 2通電磁閥（N、C）XSA系列SMC |
真空閥 | 高真空L型閥（2級控制/單動）XLD-40 SMC |
大氣釋放閥（手動） | 無 |
真空計 | GP-1000G/手寫筆WP-16 ULVAC |
大氣壓力傳感器 | 壓力開關ZSE80系列SMC |
驅動空氣調節器 | 調節器10系列（清潔兼容）SMC |
壓力表（吹掃/驅動） | 模擬型 |
工作支撐 | 支撐銷（排列、排列等見示意圖） 支撐銷材質為 PEEK |
腳輪 | 安裝了 4 個輪子的重型腳輪自由腳輪 |
調節器 | 4?安裝 |
真空泵 | 干泵MU100P型Kashiyama Industries |
冷水機 | 外密封循環CF800G型大和科學 |
變壓器箱
外觀 | 冷軋鋼板 |
外觀顏色 | 白色（我們的標準顏色），烤漆 Nikko 75-90A (孟塞爾值5PB9 / 0.5) |
腳輪 | 安裝在帶調節器的腳輪上的 4 個輪子 |
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