日本ULVAC愛發科半導體中電流離子注入機
日本ULVAC愛發科半導體中電流離子注入機
用于研究和開發的中電流離子注入機IMX-3500
中電流離子注入機IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機，非常適合大學的研發。
特征
最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規則形狀基板的壓板。
除了氣體源之外，固體蒸發源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。
高壓端子部分與量產設備配置相同，確保高可靠性。
規格
| 活力 | 30 至 200keV（可選 3 至 200keV） |
| 最大束流 | 11B+ 400μA（200keV) 31P+ 600μA（200keV) |
| 最小束流 | 150納安 |
| 離子種類 | B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他 |
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