TOFCO東富科 流量控制器 MH-FLC605

TOFCO東富科 流量控制器 MH-FLC605

為適合集合配管的流量控制用途進行了規格化。
通過簡潔緊湊的設計實現了低成本。

流量控制器（Flow Controller）是通過傳感器檢測、處理器運算和閥門調節實現流體精準調控的自動化設備，其核心由流量傳感器、控制閥、微處理器三大部分構成。現代智能型號如易度MFC-8000系列集成14位ADC芯片與PID算法，支持氣體/液體雙介質控制，流量設定分辨率達0.1%FS。按工作原理可分為熱式質量型、層流壓差式、科里奧利力式三大類，其中熱式占比達62%（2024年市場數據）。

關鍵技術特性

精度控制

熱式質量流量控制器采用MEMS傳感技術，基本誤差±0.5%FS，短期重復性0.05%

氫燃料電池專用型號通過閥電壓動態補償，將氫空比控制精度提升至±0.2%

動態性能

科里奧利型響應時間＜1ms，滿足半導體刻蝕工藝的毫秒級調節需求

雙調節設計的熱導式控制器實現流量超調量＜2%

環境適應性

礦用本安型通過IEC60079認證，可在甲烷濃度≥5%的爆炸性環境中穩定運行

襯氟材質版本耐強酸腐蝕，壽命達5萬次動作循環

氣體用|質量流量控制器
面積式流量計，錐型玻璃管可視型流量計。 緊湊、且嵌入式，產品線同樣豐富。由于是量產機型，交貨期短。
分流式流量計，適用于中大流量的計測。通過測量旁道管路的支流來計測總流量。 指示部可以和流量計本體分離，便于維修保養。
質量流量計控制器，THP系列不受壓力影響，高精度，穩定的再現性，適用于特殊氣體和腐蝕性氣體的構造。具有抗電磁波干擾的功能。
液體用|差壓式流量計
通過測量與流量成比例的差壓來測量流量。大型、便于讀取的流量表方便現場確認，適用于中大流量。
液體用|電磁式流量計
向線圈施加電流并測量流量。由于在流路中沒有阻礙液體流動的活動部件或障礙物，因此幾乎沒有壓力損失，耐用性。
液體用|葉輪式流量計
可以看到葉輪的旋轉，如有雜質堵塞，只需取下蓋子即可進行維護。因使用便利廣受工程師青睞 。
液體用|渦街式流量計
利用了在障礙物的后方產生的卡爾曼渦流的發生周期，根據流量變化的流量計。簡單的結構，耐久性高，價格低。
液體用|電動比例控制閥
采用的閥門結構和高性能A/D轉換器，實現了高精密、高分解率。標準為禁油規格，可滿足廣泛領域的需求。
液體用|多支管流量測量
將預先準備好的歧管和各種零件按照用戶規格自由組裝的配管系統。
液體用|流量開關
從小流量覆蓋中等流量的緊湊，低成本的流量開關。開關量方式設定值也可以改變，使用簡單。
液體用|可視型流量計
此款低成本、緊湊型的可視型流量計，非常適用于查看目標液體是否在流動及概略的流量！