BM系列囊式計量泵是三為科學推出的一款耐腐蝕、全氟流路、高精度的化學計量泵，囊式計量泵與介質接觸的材料為PFA、PTFE,流路不含金屬材料，同時無需軸封的設計可以防止液體泄露和外部氣體進入。因此，囊式計量泵常被用于半導體、生命科學和化工領域苛刻物料的輸送，如：光刻膠、氫氟酸、液態氟化氫、氫溴酸、液氯、硫酸酐、發煙硫酸、發煙硝酸、丁基鋰、格氏試劑、濃硫酸、濃磷酸等。

產品特點：

?流路接液部僅由氟樹脂構成，可輸送強腐蝕酸堿鹽等各種藥液

?接液部無密封圈和滑動結構，運行不產生微顆粒，無密封圈泄露風險

?無外部氣體進入，不易產生電解液結晶化結構

?可輸送高粘度物料和微量氣體物料

?絲杠傳動，可實現高精度連續流流體輸送

產品用途：

?化工領域高粘度高濃度強腐蝕物料輸送

?半導體工序的光刻膠及高純電子化學品輸送

?鋰離子電池等電池制造工序的電解液輸送

?生物醫藥領域潔凈物料輸送

?其他液體化學品或液體物料的定量輸送

電動風囊泵產品參數：