1. 產(chǎn)品概述
Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。
提供成本低的 4 x 4“ 外延片生長
與同類 MBE 系統(tǒng)相比，模塊化架構的占用空間要小得多
允許多兩個生長模塊，從而提高產(chǎn)量或允許處理不相容的材料
可選的隔板安裝優(yōu)化了潔凈室空間
集成了業(yè)界具創(chuàng)新性、可靠的系統(tǒng)硬件、源和組件
Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。
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