氧化鋁（碳化硅）陶瓷基板燒結制備設備的用途及特點：

該設備主要用于氮化鋁(或碳化硅)陶瓷基板的燒結成型。

(1)臥式爐體結構，雙層水冷夾套設計，一鍵啟動，全自動運行工藝穩(wěn)定可靠。

(2)帶有氮氣預熱功能，配多路質量流量計，多點進氣，有利于爐溫均勻性。

(3)爐膛內由低灰分石墨發(fā)熱體，低灰分石墨硬氈保溫，長壽命熱電偶測溫，配進口紅外監(jiān)測，測控溫穩(wěn)定可靠。

(4)發(fā)熱元件沿爐膛內壁園周均勻布置，多均控溫有利于加熱溫度均勻，配有多段PID和智能診斷功能，進一步提高燒結質量。

(5)爐后帶快冷風機及熱交換器，冷卻速度快，提高生產效率。

氧化鋁（碳化硅）陶瓷基板燒結制備主要規(guī)格：

設計溫度2200℃、真空1Pa、裝料區(qū)尺寸有（長寬高）：800×400×400mm、1500×500×500mm、1800×800×800mm