1、DETECTOR   陰極發光EDS能譜儀的檢測精度

DETECTOR陰極發光EDS能譜儀的檢測的靈敏度因元素而異，一般為10^-14—10^-16g，用該方法方便的進行點、線、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖像。對原子序數高于，濃度高于10%的元素，定量分析的相對精度優于±2%

2、DETECTOR   陰極發光EDS能譜儀的技術參數

l  與偏光顯微鏡、陰極發光儀能實現無縫連接（包含必須的所有連接附件）；

l  探頭類型：硅漂移探測器 (SDD)、尺寸7mm2， 硅厚度500μm；

l  能量分辨率：zui低125 eV；

l  信噪比6500:1

l  背景計數：<3 x 10-3/s, 2 keV - 150 keV

l  Be窗厚度：25μm

l  準直器形式：內置多層準直器；

l  前置放大器靈敏度：1 mV/keV、正相信號輸出（zui大1 k 歐姆負載)

l  輸入：前置輸入±8 to 9 V @ 15 mA，探頭輸入-200 to -300 V @ 1 μA，<0.1% 浮動

l  冷卻器方式：內置

l  軟件：正版定量分析軟件