德國diener等離子表面處理設備特點：

1、等離子清洗機效果好，效率高，應用范圍廣

2、對清洗樣品沒有任何材質、外觀尺寸等要求

3、等離子清洗過程中升溫小，基本可達到常溫處理

4、射頻功率無極連續可調

5、高校的特質電極，是產生均勻等離子體的保證

6、特制電極和托盤結構，可充分利用真空腔體內部空間，使處理效率zui大化，同時也可得到全面有效的清洗

7、*的過載、短路和過熱保護電路，可保證射頻電源的穩定和安全

8、設備整體模塊化設計，安裝與維護極為簡單

Diener等離子清洗機 Zepto 參數配置：

主要技術參數：
1. *半自動控制
2. *根據工藝要求不同，可設定功率、壓強、氣體流量與時間等參數
3. 雙路工作氣體，氣體流量通過針型閥流量計控制
4. 反應艙為高硼硅玻璃，Φ 211 mm、長 300 mm，容積10.5L
5. 高周波電流頻率40KHz,功率0~200W
6. 反射波自動調節，無須手工調節
7. 電極材質為鋁/不銹鋼
8. 運行模式為手動
9. *時間控制計時器
10. 真空泵的排氣能力為3.0m3/Hour，Pfeiffer
11. *配有壓力傳感器，可根據工藝要求設定壓力值
12. 外尺寸：寬 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
13. 電源電壓：單相AC230V 16A

配置清單：
數量
備注
主機    ATTO    一臺   Diener
真空泵          一臺    pfeiffer

選配：
1、 真空腔體，石英材質，圓柱形，直徑：211mm，長300mm（可代替參數4）
2、 真空泵排氣能力為5.0m3/h，Pfeiffer(可代替參數10)