D07-23F D07-23質量流量控制器

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質量流量控制器質量流量計

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公司介紹 主營產品

　　北京華丞電子有限公司(簡稱：華丞電子)原名北京華創流量計有限公司，在傳承四十余年流量測控經驗技術的基礎上，整合融入射頻、晶圓傳輸等專業技術優勢和創新能力，致力于為半導體、清潔能源、真空工業、生命科學及科學研究五大領域用戶，提供精密零部件產品及整體解決方案。

　　華丞電子秉承“以客戶需求為導向的持續創新”理念，精研需求、尊重科學、潛心技術、持續創新，形成了流量測控、真空測控、氣路系統、射頻電源、ESC直流電源、匹配器、晶圓傳輸系統等系列產品。公司已布局四大研發生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞主要國家和地區。

　　作為精密控制的先行者，華丞電子以持續創新為己任，勇于突破自身邊界，積極探索前沿技術，以合作共贏為基礎，為全球合作伙伴貢獻華丞價值。

展開

氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器

D07-23質量流量控制器，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-23F產品是流量計研發精度高、響應時間快的模擬產品。

優勢

• 大流量型
• 管狀分流，不易堵塞
• 自動關閉功能。當流量≤2%F.S.時，自動關閉

技術參數

項目	D07-23F 型	D07-23FM 型
流量規格	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
準確度	±1.5% F.S.	±1.5 % F.S.
線性	±1% F.S.	±1 % F.S.
重復精度	±0.2% F.S.	±0.2 % F.S.
響應時間	≤ 3sec	≤3 sec
工作壓差范圍	20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) 50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid) 200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)	-
氣壓降	-	20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid) >100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
大工作壓力	1 MPa	1 MPa
耐壓	3 MPa (435.1 psig)	3 MPa (435.1 psig)
溫度系數	Zero: ≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;	Zero: ≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;
工作環境溫度	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
輸入輸出信號	4~20 mA 或 1~5 VDC	4~20 mA 或 1~5 VDC
電源	24VDC 400 mA	24 VDC 100 mA
重量	2.6 kg	1.5 kg