紫外線照射式-臭氧發生器:在工業污水、生活污水及醫院污水上的應用工業上幾乎都用電暈放電法來制取臭氧，這樣生產出來的臭氧適用于初步處理含烷基苯磺酸鈉、焦油、COD、BOD、污泥、氨氮等污染物的污水，還適用于處理含Fe2+、Mn2+、氰、酚、親水性染料、細菌等污水。 由于水資源愈來愈緊張，工業及城市生活污水處理后經常回用，這就需要提高污水的處理標準。利用臭氧對水進行深度處理，可除掉水中各種雜質，從而達到回用標準。臭氧處理醫院污水可消毒滅菌。若采用臭氧處理醫院污水，可截斷傳染源，免除后顧之憂。并且臭氧在幾分鐘之內可以將病毒全部殺死，比當量氯氣快200～3000倍。城市污水處理系統工程也已經開始使用大型臭氧發生器進行殺菌消毒除味脫色處理。在循環冷卻水和鍋爐給水中的應用在循環冷卻水中，需對水進行深度處理，臭氧可以除去形成污垢的雜質，防止阻塞管道。當然，要達到此目的必須先將氨除盡，否則其還原性會分解殘余臭氧，不利于保持臭氧的氧化效率，通常殘余臭氧保持在0.5mg/L左右為宜。

紫外線照射式-臭氧發生器:目前只有美國將臭氧應用在循環冷卻水的處理，其他包括中國均尚處于試驗階段。臭氧在飲用水上的應用采用臭氧消毒滅菌不存在任何對人體有害的殘留物（如用氯消毒有致癌的鹵化有機物產生），對提高飲用水的消毒質量問題非常有效。地表水中含有各種有機、無機以及各種細菌、病毒。地表水用臭氧進行深度處理后，基本上可以達到優質飲用水標準。有實驗表明水中臭氧濃度在0.4ppm時， 只需一分鐘就可以將細菌和病毒全部殺死，它殺病毒比殺菌的速度更快。 經過臭氧深度處理的飲用水的質量很高，可以防止微生物在管道內生長，保護了人體的健康。若是只用紫外消毒殺菌，只能透過一定厚度的水層，消毒殺菌不*，而用臭氧就能*解決問題。臭氧若是結合紫外對飲用水消毒殺菌，效果比單用任何一種方法更好，還能節省能耗。利用臭氧對自來水直接消毒則要簡單得多，所需臭氧濃度也小得多。不過，臭氧易分解，在它們的終端都還需要加少許余氯，以防止細菌在配水管網內的再度滋生。其他水處理應用臭氧消毒游泳池水在國外十分普遍。經臭氧消毒后，游泳池池水清澈透明，*解決了氯消毒刺激眼睛、皮膚的問題。我國有部分經濟發達地區也采用臭氧消毒游泳池水，效果較好。給小區分質供水，必須使用臭氧消毒滅菌，只有這樣才能保證飲用水時刻處于無菌富氧狀態。臭氧分解后能產生氧氣，既可改善食用水生生物的生存質量，又能對其生存場所殺菌消毒。不過臭氧濃度應避免高于0.1mg/L，因為它有害于水生生物。