臭氧發生器滅菌：因為臭氧的強氧化性、強殺菌消毒能力和難以替代的脫色除臭功能，很多情況下廢水深度處理需要采用臭氧技術實現更好的處理效果。廢水深度處理中，臭氧可用來去除 COD、 BOD，并破壞有害的化學物，臭氧及其產生的活潑•OH 自由基使污水中發色基團的不飽和鍵斷裂生成小分子的酸和醛，生成了低分子量的有機物，從而使水體色度顯著降低，可以將存在于廢水中的金屬離子氧化為不溶于水的化合物沉淀下來，有助于絮凝，改善沉淀效果，能有效地控制有機微生物，使循環水中的 COD 和 AOX（可吸收有機鹵化物）的數量都被控制在很低的水平，從而得到優良的水質。

臭氧對降低污水中的 COD 含量，提升水質標準，實現一級 A 類排放標準和中水回用有殊功能。在市政污水處理中， 臭氧已經被大量應用，在再生水處理領域，“臭氧+MBR”技術工藝組合作為有效的技術之一被越來越多采用。

臭氧發生器滅菌：臭氧是一種強氧化劑，滅菌過程屬生物化學氧化反應。O3滅菌有以下3種形式:

1.臭氧能氧化分解細菌內部葡萄糖所需的酶，使細菌滅活死亡。

2.直接與細菌、病毒作用，破壞它們的細胞器和DNA、RNA，使細菌的新陳代謝受到破壞，導致細菌死亡。

3.透過細胞膜組織，侵入細胞內，作用于外膜的脂蛋白和內部的脂多糖，使細菌發生通透性畸變而溶解死亡。