•可靠的超純氣體生產和供應

•一臺分析儀分析所有雜質

•全自動，實時雜質報警功能

•可靠的24/7工藝保護

•晶圓產能

VeraSpec APIMS不僅分析速度快、靈敏度高，而且操作簡單，可用于連續監控氮氣、氬氣、氦氣、氧氣和氫氣的供應需求。通過對ppt級別雜質的快速響應大程度保護電子制造工藝。

擁有Extrel VeraSpec APIMS，保護您的半導體生產

超純氣對半導體設備生產非常重要。通過對超純氣純度的連續監測可以確保半導體設備的產能。其被雜質污染后的代價是非常昂貴的。

半導體工廠需要連續實時監測工藝氣的純度，雜質的檢測限至低ppt級別。

要達到如此低的檢測下限，方式就是應用大氣壓離子質譜儀。在20多年里，APIMS已經被應用在科學研究和檢測工業在線微量氣體的標準技術。

基于四極桿技術的Extrel VeraSpec APIMS系統能檢測的氣體含量和氣體組分范圍非常寬泛。同時儀器的長期穩定性、重復性是大多數應用所必須要求的。

為了追求優的性能、穩定性和運行時間，在半導體氣體分析領域，Extrel 是運用19mmTri-filter四極濾質器的質譜儀生產商。