熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。根據熱效應的金氏定律，加熱功率P、溫度差AT(TRH-TRMG) 與質量流量Q有確定的數學關系式。P/AT=K1+K2 f(Q)K3，K1、K2、K3是與氣體物理性質有關的常數。熱式氣體質量流量計的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質量流量計測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質而造成的很大的零點漂移，導致無法測量的弊端。它也可以用于測量濕氣體的質量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風，排風系統中的風量(速)的實時檢測。