日本Filgen等離子鍍膜機用于導電性薄膜裝置 OPC60A/OPC80T 特點介紹

電子顯微鏡試樣用導電性薄膜制作裝置等離子體涂布機

◆膜專用型（OPC60A）

◆膜/等離子體聚合膜雙用型（OPC80T）

◆導電性超薄膜制膜機構

◆親水化處理機構

◆深型試樣機構

◆可選消耗品

日本Filgen等離子鍍膜機用于導電性薄膜裝置 OPC60A/OPC80T 規格參數

奧斯米解決等離子涂層原理和特強電子顯微鏡觀察的煩惱！防止充電、粒狀性、對減輕熱損傷發揮了極大的效果。

奧斯米等離子體涂層是什么？等離子體涂布機是使用“通過直流輝光放電在負輝光相區域內的等離子體制膜法”，主要用于SEM試樣的導電性薄膜制作裝置。

通過等離子體CVD法，可以在短時間內形成非晶質的釹導電性薄膜（釹涂層）。

可獲得具有非常堅固和光滑表面的導電薄膜，而不會對試樣造成熱損傷。

另外，除了標準規格的釹薄膜機構之外，還配備了使用了環烷的等離子體聚合膜機構、導電性超薄膜制膜機構、

親水化處理機構、深型試樣機構等擴展性優異的產品線，SEM、可對應TEM試樣等各種預處理。

薄膜機構（標準規格）

●SEM試樣的導電性薄膜

●防止SEM、TEM試樣的污染

●AFM樣品的保護膜

●SPM樣品的導電性保護膜

●SPM用懸臂的保護膜親水化處理機構（可選）

●在氟樹脂表面等上涂覆前處理

●防止包埋樹脂與試樣剝離●提高濕性

●TEM支持膜表面的親水化

●TEM用柵格的親水化

●超微刀用金剛石刀刃尖親水化等離子體聚合膜制膜機構

●FIB試樣用保護膜●防止包埋樹脂與試樣剝離

●氟樹脂的涂層（鄰苯二甲烷-混合涂層）

●TEM柵格用支撐膜

●TEM用超薄切片防漂移導電性超薄膜制膜機構（可選）

●利用FESEM觀察絕緣物的超微細結構

●利用ESCA、AES對絕緣物極表面信息進行定量分析

●TEM試樣的導電性增強

●AFM試樣的靜電防護

●STM試樣的防靜電

●蝕刻（僅限混合氣體方式）深型試樣機構（可選）

●適用于更高試樣的涂層