Pishow® D 系列 8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕設備

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產品標簽

深硅刻蝕

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

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冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕（ICP-DSE）設備

1. 詳細介紹

Pishow® D 系列深刻蝕設備，是針對8英寸~6英寸產線或科研深硅刻蝕工藝的用設備，擁有自主開發的優化設計，保證了優異的刻蝕精度控制和損傷控制。
提供Si Bosch工藝的解決方案。

該設備高性價比的解決方案和優秀的空間利用率，可幫助不同客戶實現產能升。

2. 系統特性

Pishow® D 系列是采用深硅刻蝕技術的電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設備

提供Bosch解決方案，實現對Si的高深寬比刻蝕

優化的氣柜設計，縮短進氣距離，短工藝切換時間小于1.0

Pishow® D 系列可選擇8~4英寸晶圓，提供單腔式和多腔式等多種腔室搭配方式