1. 產品概述

憑借在蝕刻GaN，SiC和藍寶石等材料方面的豐富經驗，我們的技術既能夠滿足性價比的要求、又能使器件的性能得到更優化。PlasmaPro 100 Polaris單晶圓刻蝕系統為得到更為精細的刻蝕效果提供了智能解決方案，使您在行業中能保持競爭優勢。

2. 特色參數

高效的刻蝕速率

低購置成本

為腐蝕性的化學成分而設計

出色的刻蝕均勻性

適用于藍寶石的靜電壓盤技術

藍寶石和硅上的GaN

高導通抽氣系統

可與其它PlasmaPro系統集成

主動冷卻電 - 在刻蝕過程中保持樣品溫度。

高功率ICP源 - 產生高密度等離子體。

可靠的硬件且易于維護 - 可保持長時間正常運轉。

磁場墊環 - 增強離子的控制和均勻性。

靜電壓盤技術 - 適用于藍寶石，以及藍寶石和硅基的GaN。

加熱的腔室內襯 - 優化以減少腔壁沉積。

先進的自動匹配單元（AMU） - 提供快速，高效和準確的匹配，確保了工藝的高度精準重復性