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SENTECH SER 800 PV 光譜橢偏儀

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橢偏儀

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 化工,電子/電池

1. 產品概述

SENTECH SER 800 PV光譜橢偏儀符合PERC、TOPCON、HJT和鈣鈦礦技術等新型太陽能電池技術的研發要求。它操作簡單,具有高測量靈敏度、去偏振校正和特殊的聚光光學元件,使其成為在粗糙樣品表面上進行光伏應用的理想工具

2. 主要功能與優勢

紋理化硅片

抗反射涂層和鈍化層可以在紋理單晶硅片和多晶硅片上測量。

多層增透膜

SiO2?涂層/?SiNx, Al2O3?/?SiNx, and SiNx1?/?SiNx2, poly-Si, aSi / ITO,都可以分析。

操作簡單

SENTECH SER 800 PV 光譜橢偏儀為家和初學者都提供了簡單的操作。配方模式特別適用于質量控制中所需的常規應用。

3. 光伏研發的靈活性

SENTECH SER 800 PV 是分析紋理晶體和多晶硅太陽能電池上抗反射涂層和功能層的理想工具。單片薄膜(SiNx, SiO2, TiO2, Al2O3, ITO, aSi, 多晶硅和鈣鈦礦)和多層堆疊物((SiNX?/?SiO2, SiNx1?/?SiNx2, SiNx?/?Al2O3, …)可以測量。

該工具基于步進掃描分析儀測量模式。步進掃描分析儀模式允許將測量參數與粗糙的樣品表面相匹配,而所有光學部件都處于靜止狀態。SENTECH SER 800 PV 的光源、光學元件和檢測器經過優化,可快速準確地測量光伏應用中的折射率、吸收和薄膜厚度。此外,該工具還滿足 SENresearch 光譜橢偏儀系列的所有要求。

SpectraRay/4 是 SENTECH 有的橢偏儀軟件,用于 SENTECH SER 800 PV,包括兩種操作模式。配方模式允許輕松執行質量控制中的常規應用。帶有指導性圖形用戶界面的交互模式適用于研發應用和新配方的開發。




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