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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>其它薄膜沉積設備>Lumina AS/P 金屬有機物化學氣相沉積設備

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Lumina AS/P 金屬有機物化學氣相沉積設備

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1.產品概述:

Lumina® 系統基于 Veeco 業界的金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) TurboDisc® 技術,在長時間的生產過程中,其具有均勻性和低缺陷率,帶來出色的產量和靈活性。此外,Veeco 的有技術也提供均勻的熱控制,可實現的厚度和組合均勻性。該系統提供無縫晶片尺寸過渡,能夠在直徑達 8 英寸的晶片上沉積高質量 As/P 外延層。Lumina 系統允許用戶自定義系統以實現大價值。

2.產品應用

VCSEL

3D 傳感

LiDAR

高速數據通信

邊緣發射激光器

先進的光學通信

硅光電

迷你和微型 LED

4K 和 8K 電視顯示屏

智能手機

可穿戴設備

AR/VR(增強現實/虛擬現實)



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