RTP-200快速退火爐為德國優尼坦公司生產,分為RTP-100,RTP-150,RSO-200,VPO-300共四個型號,分別對應4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火爐產品。
8寸快速退火爐/德國UniTemp技術規格:
- 溫度:1200攝氏度;
- 升溫速率:150攝氏度/秒;
- 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度);
- 溫控均勻性:≤1.5%設定溫度;
- 加熱方式:紅外鹵素燈,頂部及底部加熱;
- 燈管數量及功率:18支/20千瓦(RTP-100),24支/21千瓦(RTP-150);
- 腔體冷卻:水冷方式;
- 襯底冷卻:氮氣吹掃;
- 工藝氣路:MFC控制,最多4路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等);
- 主機尺寸及重量:505mmx504mmx420mm (WxDxH),約55Kg。
8寸快速退火爐/德國UniTemp特點:
- 真空快速退火爐,有低真空型號(10-3hPa)、高真空型號(10-6hPa);
- 可在不同氣氛環境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;
- 控制方式:SIMATIC,SPS人機界面控制,7英寸觸摸屏;
- 可存儲50個程序,每個程序最多分為50段控制;
- 全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環水均可自動設置;
- 優異的溫控均勻性,工藝重現性;
- 小尺寸臺式設計。
應用領域:
- 離子注入/接觸退火;
- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用;
- SiAu,SiAl,SiMo合金化;
- 低介電材料;
- 晶體化,致密化;
- 太陽能電池片鍵合。