2006年,第一臺石英振動體超聲清洗裝置投入實(shí)際使用。
在這種方法中，通過在石英振動體上疊加超聲波對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學(xué)品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。
石英振動體有不同的形狀，以適應(yīng)不同的用途，能夠根據(jù)需要進(jìn)行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等。

對具有細(xì)微結(jié)構(gòu)的晶片進(jìn)行低損傷清洗

■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行清洗。
將超聲波振動從石英振動元件通過化學(xué)溶液傳播到半導(dǎo)體晶片上，接觸區(qū)的化學(xué)溶液振動，加速去除表面污染。
■清潔度高，對半導(dǎo)體晶圓的損害最小。
與使用橡膠材料（如墊片）的設(shè)備相比，使用石英與化學(xué)溶液接觸，可以確保清潔，而不會有橡膠溶出。
■震蕩器冷卻功能通過用氣體（如氮?dú)猓├鋮s震蕩器，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)工作，沒有頻率波動。
冷卻還能確保沒有溫度的突然變化，從而延長使用壽命。

膠體殘留物的清除
封邊和灰化后的聚合物清除
柵電極極清洗
CMP后的清洗

■發(fā)振器

●可變的輸出范圍：0W到12W（振動體的允許輸入：當(dāng)使用空氣吹掃冷卻時，連續(xù)10W）。
●周圍操作環(huán)境：溫度：15至35℃，濕度：10至85%。
●外部驅(qū)動觸點(diǎn)額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)）觸點(diǎn)輸入：12 V DC 16 mA min.
　報警輸出（主單元）觸點(diǎn)容量：24 V DC 0.5 A
■附屬電纜：電源線（100V為2米/200V為3米），控制線（5米）x4

●工作液體溫度范圍：20-50℃。
●換能器：PZT
●材料：振動器：石英玻璃，墊片：硅橡膠，外殼：PCTFE
●線長：輸出線1.5米+繼電器線3.5米
●冷卻氣體接頭：兼容管（外徑?6）