SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)
參考價(jià) | ¥ 100000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/24 16:42:56
- 訪問(wèn)次數(shù) 80
聯(lián)系方式:劉先生18721247059 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)是 SEMI-KLEEN 系列等離子體清潔器的特殊版本,用于超高真空(UHV)室和樣品清潔應(yīng)用。等離子體源主體由釬焊到不銹鋼凸緣的玻璃管構(gòu)成。所有的真空接頭都是玻璃-金屬釬焊或金屬-金屬接觸。在源體內(nèi)沒(méi)有使用聚合物密封。等離子體源的背面是 1/4 英寸的 VCR 連接器。前側(cè)法蘭為 CF2.75″(DN 40 CF)不銹鋼。
SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)有兩種控制氣體流量的方法:手動(dòng)針閥或外部 MFC。SEMI-KLEEN 控制器可以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)外部 MFC 并自動(dòng)混合兩種工藝氣體。如果使用外部 MFC 來(lái)控制氣體流速,則配方可以指定每個(gè) MFC 的氣體流速。